濕電子化學(xué)品屬于電子化學(xué)品領(lǐng)域的一個(gè)分支，是微電子、光電子濕法工藝制程（主要包括濕法蝕刻、清洗。顯影、互聯(lián)等）中使用的各種電子化工材料。四氟管
如今，濕電子化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路、分立器件、液晶顯示器、太陽(yáng)能電池、LED等制作過程中不可缺少的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一。
隨著集成電路制作要求的提高，對(duì)工藝中所需的濕電子化學(xué)品純度的要求也不斷提高。目前，濕電子化學(xué)品的核心要素是超凈、高純及功能性。其中，金屬雜質(zhì)含量和顆粒度這兩個(gè)參數(shù)是濕電子化學(xué)品制備的關(guān)鍵之一，這對(duì)試劑提純、包裝等各方面提出了高要求。
氟樹脂具有耐腐蝕等優(yōu)異性能，在發(fā)達(dá)國(guó)家濕電子化學(xué)品生產(chǎn)過程中已經(jīng)獲得了廣泛應(yīng)用，但國(guó)內(nèi)氟樹脂加工企業(yè)在該領(lǐng)域還有很長(zhǎng)的路要走。
氟樹脂在超高純?cè)噭┥a(chǎn)中廣泛應(yīng)用
氟樹脂材料由含氟原子的單體通過均聚或共聚反應(yīng)而成，目前使用中的氟樹脂品種主要有聚四氟乙烯（PTFE）、聚三氟氯乙烯（PCTFE）、聚偏氟乙烯（PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物（FEP）、乙烯－三氟氯乙烯共聚物（ECTFE）、乙烯－四氟乙烯共聚物（ETFE）和四氟乙烯－全氟烷基乙烯基醚共聚物（PFA）。在濕電子化學(xué)品生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用的氟樹脂主要為PTFE和PFA。
PTFE樹脂占所有氟塑材料應(yīng)用的70%左右，由于其獨(dú)有的分子結(jié)構(gòu)，使材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性，耐酸抗堿、抗大部分溶劑的特點(diǎn)。同時(shí)，PTFE具有耐低溫和相對(duì)高溫的特點(diǎn)，工作溫度范圍可達(dá)到-80℃~200℃。
PFA為四氟乙烯和全氟丙基乙烯基醚（FVE）的共聚物，分子結(jié)構(gòu)與PTFE十分接近，很多性能也非常接近。最大的不同是，PFA可以熔融加工、注塑、擠出等，所以PFA又稱為可熔性PTFE。
氟樹脂材料在與高純化學(xué)試劑接觸時(shí)，幾乎沒有不純物質(zhì)的溶出，且耐腐蝕性優(yōu)異，具備長(zhǎng)期使用也能保持純度的優(yōu)異特性。在應(yīng)用于超凈高純化學(xué)試劑的氟樹脂中，尤其以PTFE與PFA最為廣泛，其耐腐蝕性更加優(yōu)異，耐蝕高純化學(xué)試劑的品種更加廣泛。
對(duì)于氟樹脂材料（PTFE和PFA）的指標(biāo)要求主要包括樹脂使用和制造的技術(shù)要求。
1.樹脂使用技術(shù)要求
1）金屬離子的析出
SEMI3及以上的超凈高純化學(xué)品中，其產(chǎn)品在包裝儲(chǔ)運(yùn)和使用過程中，單項(xiàng)金屬離子要求保持在ppb甚至ppt級(jí)的水平。因此，對(duì)預(yù)期接觸的所有材料必須也保持相應(yīng)技術(shù)水平，保證無(wú)過量金屬離子析出。
2）顆粒數(shù)持續(xù)增長(zhǎng)
若樹脂材料的在分子水平上出現(xiàn)過量的分子斷裂或者溶出，會(huì)導(dǎo)致在電路濕制程當(dāng)中引起大量產(chǎn)品污染和線路缺陷。
3）小分子滲透
超凈高純化學(xué)試劑分子量一般相對(duì)較小，滲透性強(qiáng)。而樹脂在生產(chǎn)中容易出現(xiàn)大分子間隙，導(dǎo)致分子溢出，可能會(huì)對(duì)儲(chǔ)運(yùn)設(shè)施外層金屬產(chǎn)生微量腐蝕，而微量的腐蝕污染足以導(dǎo)致產(chǎn)品失效。
2.樹脂制造技術(shù)要求
1）材質(zhì)的純凈度，保證不對(duì)產(chǎn)品造成二次污染；
2）樹脂聚合中分子量分布盡可能的窄；
3）聚合過程中支鏈的控制技術(shù)；
4）功能添加劑的選擇穩(wěn)定性和溢出控制。
在濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中，氟樹脂主要用于四大領(lǐng)域：
1）濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中鋼襯PFA/PTFE設(shè)備
鋼襯PFA/PTFE設(shè)備分為塔器、罐體、管道和泵閥等，其特點(diǎn)在于不僅鋼制容器強(qiáng)度高，而且在強(qiáng)腐蝕介質(zhì)的工況下仍能保證-80℃~200℃的溫度區(qū)間應(yīng)用。致密的PFA/PTFE層保證其適用大部分電子化學(xué)品生產(chǎn)工況。
鋼襯PFA/PTFE容器可分為模壓、板襯、噴涂等工藝，視不同工況可以選擇不同的內(nèi)襯工藝，成品使用需通過標(biāo)準(zhǔn)離子浸出實(shí)驗(yàn)；電子化學(xué)品生產(chǎn)成品包裝、儲(chǔ)存、運(yùn)輸一般采用更嚴(yán)格的超純PFA襯里設(shè)備。目前PFA樹脂主要生產(chǎn)廠家為科慕（杜邦）、大金、旭硝子等國(guó)外廠商。PTFE樹脂國(guó)內(nèi)廠商有東岳、巨化等，并且開始有少量試生產(chǎn)PFA樹脂。
2）濕電子化學(xué)品精餾用PFA/PTFE分離填料
PFA/PTFE分離填料具有通量大、效率高等特點(diǎn)，廣泛用于超純物系的吸收和精餾。該系列規(guī)整填料通過浙江工業(yè)大學(xué)化學(xué)工程研究所的測(cè)試，其分離效率在中等噴淋密度時(shí)與同樣比表面積的金屬規(guī)整填料相比低7.8%；在模擬計(jì)算和實(shí)際設(shè)計(jì)的時(shí)候，精餾塔比相類似的金屬塔要略高；PFA/PTFE鮑爾環(huán)和拉西環(huán)等散堆填料，在吸收時(shí)用的比較多，例如用于SO3吸收制超純硫酸工藝。
4）濕電子化學(xué)品精餾提純用主要內(nèi)構(gòu)件
PFA/PTFE管式、槽盤式分布器、復(fù)合支撐和除霧器等，這些內(nèi)構(gòu)件對(duì)汽液平衡、汽液均勻分布具有不可或缺的作用，特別是除沫器和除霧器的應(yīng)用對(duì)霧沫夾帶和微小液滴（3μm以下）起著重要作用。3μm以下的需要采用纖維除霧器去除。這也是精餾提純電子化學(xué)品的關(guān)鍵步驟之一。
5）濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中的熱交換設(shè)備
列管式PFA/PTFE換熱器超強(qiáng)的耐蝕防老化性能和超潔凈性能，使其廣泛應(yīng)用于化工、酸洗、電鍍、醫(yī)藥和電子化學(xué)品等行業(yè)。由于其耐溫性能極佳（-80℃～180℃），既適用于普通換熱及冷卻，亦適用于蒸汽加熱。
隨著氟塑原材料生產(chǎn)技術(shù)和管材加工技術(shù)的提高，目前四氟管管壁厚度達(dá)到0.3～1.0mm，加之無(wú)垢下熱阻，在液液、汽液傳熱中總傳熱系數(shù)比較高，總傳熱系數(shù)約200～300W/m2 ℃。與金屬列管式換熱器相比較，因采用毛細(xì)管，單位體積換熱面積大約1.5倍，換熱效率與同體積的金屬換熱器相當(dāng)。
未來(lái)發(fā)展需四輪驅(qū)動(dòng)
濕電子化學(xué)品的應(yīng)用受等終端市場(chǎng)限制和影響較大，其生產(chǎn)工藝和設(shè)備大都是國(guó)內(nèi)客戶從國(guó)外成套引進(jìn)，而且目前超純PFA材料在短期內(nèi)難以國(guó)產(chǎn)化。更主要的是，傳統(tǒng)的鋼襯四氟行業(yè)對(duì)高純環(huán)境加工認(rèn)識(shí)不足，加工技術(shù)難以掌握，限制了國(guó)產(chǎn)氟塑加工企業(yè)在電子化學(xué)品行業(yè)的發(fā)展。
針對(duì)目前的現(xiàn)狀，提出以下四點(diǎn)建議：
一是國(guó)產(chǎn)樹脂廠商（如巨化、東岳、晨光等）應(yīng)加大超純樹脂產(chǎn)品研發(fā)力度和標(biāo)準(zhǔn)制定；
二是相關(guān)協(xié)會(huì)牽頭聯(lián)合研究設(shè)計(jì)院、生產(chǎn)廠商及氟塑加工企業(yè)盡快制定材料和制造檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，為規(guī)范化使用超純氟樹脂奠定基礎(chǔ)；
三是高校和研究設(shè)計(jì)院以及生產(chǎn)廠商聯(lián)合開發(fā)出相應(yīng)的電子化學(xué)品生產(chǎn)工藝包，規(guī)范相應(yīng)的工程設(shè)計(jì)；
四是進(jìn)一步聯(lián)合終端廠商及研究院建立中試示范基地，引導(dǎo)終端使用廠商對(duì)國(guó)產(chǎn)氟塑材料和產(chǎn)品的認(rèn)可。
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